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三维干涉轮廓仪
发布人:机械传动与制造工程湖北省重点实验室  发布时间:2018-09-11   浏览次数:10


仪器名称

三维干涉轮廓仪

仪器型号

GTK

生产厂家

美国BRUKER企业

 

 

 

l  最大直径:6英寸;

l  采用双光源技术:绿光和白光LED

l  Z方向扫描范围:测量范围0.1nm 10mm

分辨率<0.1nm

l  RMS重复率:0.01nm

l  垂直扫描速度:最高扫描速度28um/秒;

横向采样间隔:0.1um13.2um

l  具有自动载物台;

l  具有较高的光学分辨率,最小可达0.49um;

l  设备具有较大的视野范围,并能够通过扩展进一步扩展范围:

l  测试的台阶高度具有0.8%精确度,重现性0.1%;

              


 

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